华中科技大学2025年8月政府采购意向-电子束蒸镀机

项目名称: 华中科技大学2025年8月政府采购意向-电子束蒸镀机

招标公司: 华中科技大学

采购标的物: 电子束蒸镀机、工艺试验机

项目地区：湖北 武汉

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电子束蒸镀机

项目所在采购意向： 华中科技大学2025年8月政府采购意向

采购单位： 华中科技大学

采购项目名称： 电子束蒸镀机

预算金额： 450.000000万元(人民币)

采购品目：

A02100503工艺试验机

采购需求概况：

"拟购电子束蒸镀机1台。主要技术指标： 1、温度可以高达1100摄氏度，误差为+/-1%；2、8”晶圆薄膜沉积均匀性可以达到σ< 1.0%, 49Pts 5mmEE。3、设备可以运行最大8”晶圆，并向下兼容；4、设备预留多个功能模块位置，可以方便升级，添加其他功能模块，如磁控溅射、离子刻蚀、PLD等；5、质保：自验收合格之日起两年；6、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。"

预计采购时间： 2025-08

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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