华中科技大学2025年8月政府采购意向-反应离子刻蚀机

项目名称: 华中科技大学2025年8月政府采购意向-反应离子刻蚀机

招标公司: 华中科技大学

采购标的物: 反应离子刻蚀机、工艺试验机

项目地区：湖北 武汉

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反应离子刻蚀机

项目所在采购意向： 华中科技大学2025年8月政府采购意向

采购单位： 华中科技大学

采购项目名称： 反应离子刻蚀机

预算金额： 300.000000万元(人民币)

采购品目：

A02100503工艺试验机

采购需求概况：

"拟购反应离子刻蚀机1台。主要规格参数：1、设备8英寸并向下兼容；2、可实现对Ⅲ-Ⅴ族材料以及硅基材料的低损伤刻蚀；对SiO2的刻蚀：刻蚀速率>25nm/min；3、最大刻蚀深度<1mm，对PR的选择比>2.5:1,侧壁倾角88±2°；4、8英寸范围内刻蚀均匀性<±3%；5、质保：自验收合格之日起两年；6、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。"

预计采购时间： 2025-08

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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