华中科技大学2025年8月政府采购意向-椭偏仪

项目名称: 华中科技大学2025年8月政府采购意向-椭偏仪

招标公司: 华中科技大学

采购标的物: 光学测试仪器、椭偏仪、激光定焦

项目地区：湖北 武汉

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椭偏仪

项目所在采购意向： 华中科技大学2025年8月政府采购意向

采购单位： 华中科技大学

采购项目名称： 椭偏仪

预算金额： 120.000000万元(人民币)

采购品目：

A02100304光学测试仪器

采购需求概况：

"拟购椭偏仪1台。主要技术指标：1、测量能力： 全穆勒矩阵 16 个元素、偏振光谱 Psi/Delta、折射率、厚度、双折射 及介电常数等；2、光谱范围： 210nm-1650nm；3、膜厚重复性精度： ≦ 0.005nm （100nm SiO2/Si， 30 repeats， 1σ） ；膜厚测量精度： ＜0.5 nm (100nm SiO2/Si)；4、折射率重复性精度： ≦ 0.0005nm（n@632.8nm,100nm SiO2/Si， 30 repeats， 1σ） ；5、激光定焦：采用激光测距仪精准探测最佳焦距，实现样品 Mapping 快速扫描测量，采用 x/y 型 Mapping 扫描台，支持 2/4/6/8 寸样件多点定位自动扫描测量，软件一键生成 二维/三维膜厚分布图；6、质保：自验收合格之日起两年；7、售后：所有硬件两年免费保修、所有软件免费保修升级、电话报修后48小时上门服务、48小时内排除故障。"

预计采购时间： 2025-08

备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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